Project without external funding

Aufbau eines in situ-Rastertunnelmikroskops zur Untersuchung der Diamantabscheidung


Project Details
Project duration: 08/199507/1999


Abstract
In diesem Projekt wird eine Anlage aufgebaut, die ein Rastertunnelmikroskop mit einer Hot-Filament-Anlage zur Abscheidung kombiniert. Für eine derartige Kombination sind zahlreiche Probleme zu erwarten, die sich aus den widrigen Bedingungen der Diamantabscheidung ergeben: aggressive Gase, hohe Temperaturen, hohe Gasflüsse (laufender Betrieb einer Rotationspumpe erforderlich). Zahlreiche Tests haben aber einen störungsfreien Betrieb des STM während der Abscheidung gezeigt, so daß eine Untersuchung der Diamantabscheidung mit Hilfe des in situ-Rastertunnelmikroskops möglich ist.

Last updated on 2017-11-07 at 13:29

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