Project without external funding

Verbundprojekt im Förderschwerpunkt Mikrosystemtechnik:
Entwicklung von intelligenten miniaturisierten Sensoren zur 2D- und 3D-Vermessung für Anwendungen zur Qualitätssicherung bei M



Project Details
Project duration: 01/199509/1997


Abstract
Im Fachgebiet Übertragungstechnik wurden Forschungs- und Entwicklungsarbeiten durchgeführt mit einem Schwerpunkt auf dem Gebiet der Mikroelektronik und Sensorik. Dabei handelt es sich um Aufgabenstellungen, bei denen unter Nutzung sensorischer Komponenten an volumenmäßig kleinen Objekten optisch dreidimensionale Vermessungen vorgenommen werden. Damit lassen sich Qualitätsbeurteilungen an Oberflächenstrukturen bis in den unteren Millimeterbereich durchführen und auch Platinen-Layouts auf Fehlstellen oder insgesamt Fehlproduktionen prüfen. Es wird ein Lichtschnittverfahren angewendet u.a. auch bei einem internationalen wissenschaftlichen Kolloquium vorgetragen und im Rahmen einer Poster Session demonstriert. In einem Verbundprojekt unter Beteiligung von Industriefirmen und einem weiteren Forschungsinstitut befaßt sich das Fachgebiet in seinen laufenden Forschungsarbeiten mit der Entwicklung intelligenter miniaturisierter Sensoren für 2D- und 3D-Vermessungen bei Mikrostrukturen. Die Finanzierung erfolgt über Drittmittel und hier vornehmlich durch den Bundesminister für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie.


Co-Investigators

Last updated on 2017-11-07 at 13:57

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