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Charakterisierung von Remote-Plasmen mit Hilfe von Langmuirsonden und RFEA


Project Details
Project duration: 03/199402/1997


Abstract
Remote-Plasmen zeichnen sich durch eine räumliche Trennung von Plasma, Gasphasenreaktionsraum und Substrat aus. Damit erreicht man sowohl eine bessere Kontrolle der Gasphasenreaktionen als auch eine drastische Reduzierung des Beschusses des Substrates mit energetischen Teilchen. Beide Vorteile konnten in früheren Arbeiten für eine Reihe von Anwendungen eindrucksvoll ausgenutzt werden. Die gegenwärtigen Untersuchungen haben zum Ziel, Remote-Plasmen mit Hilfe plasmadiagnostischer Verfahren (Langmuirsonde, Retarding Field Energy Analyzer) genauer zu charakterisieren, um das theoretische Verständnis der ablaufenden Prozesse zu verbessern, definierte Parameterbereiche für ihren Einsatz festzulegen und so insgesamt die Anwendungsmöglichkeiten von Remote-Plasmen zu erweitern und zu verbessern.

Last updated on 2017-11-07 at 13:59