Projekt ohne Drittmittelfinanzierung

Entwicklung von Plasma Abscheideverfahren für optische MEMS


Details zum Projekt
Projektlaufzeit: 06/200005/2003


Zusammenfassung
In diesem Projekt werden optische Braggspiegel und Filter mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasendeposition (PECVD) hergestellt. Dabei wird die Tauglichkeit des Verfahren für die Herstellung von 'low cost' optischen Mikrostrukturen getestet.

Zuletzt aktualisiert 2017-11-07 um 15:43

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