Project without external funding

Entwicklung von Plasma Abscheideverfahren für optische MEMS


Project Details
Project duration: 06/200005/2003


Abstract
In diesem Projekt werden optische Braggspiegel und Filter mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasendeposition (PECVD) hergestellt. Dabei wird die Tauglichkeit des Verfahren für die Herstellung von 'low cost' optischen Mikrostrukturen getestet.

Last updated on 2017-11-07 at 15:43