Project without external funding

Interferometrischer Präzissionssensor für die Fertigungsmesstechnik /IPSe)


Project Details
Project duration: 05/201010/2011


Abstract
Gegenwärtig dominieren in der industriellen Fertigungsmesstechnik trotz der bekannten Einschränkungen hinsichtlich Messgeschwindigkeit, -genauigkeit und potenzieller Beschädigung der Messobjekte taktile Systeme. Die Verwendung optischer Sensoren scheitert häufig an den hohen Kosten, der mangelnden Robustheit und der eingeschränkten Flexibilität der verfügbaren Systeme. Ziel dieses Projektes ist es deshalb, ein neuartiges modulares Sensorsystem zu entwickeln, das kompatibel zu taktilen Messeinrichtungen ist und die o. g. Anforderungen erfüllt. Eine mikrooptische Sonde wird anstelle des taktilen Tasters über das Messobjekt geführt. Die Sonde ist über eine Lichtleitfaser mit einem Interferometer verbunden. In der Sonde wird ein Refereznzreflex erzeugt, dem sich das vom Messobjekt zurück in die Sonde reflektierte Licht überlagert. Im Interferometer wird die Weglängendifferenz zwischen Mess- und Referenzstrahl kompensiert, so dass auch bei Verwendung von kurzkohärentem Licht Interferenzen auftreten. Ein entlang der optischen Achse oszillierender Spiegel moduliert die optische Weglänge. Dies erlaubt es, Abstandsänderungen zwischen Sonde und Messobjekt mit nanometer-Auflösung zu messen.


Research Areas


Last updated on 2017-11-07 at 13:40