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Interferometrische Wärmewellenanalyse


Project Details
Project duration: 01/199212/1994


Abstract
Zur Untersuchung der thermischen Parameter von Dünnschichtsystemen wurden zwei berührungslose und zerstörungsfreie Meßsysteme aufgebaut. Das eine basiert auf der interferometrischen Vermessung der thermischen Ausdehnung einer Oberfläche, die durch einen Leistungslaser aufgeheizt wird. Das andere beruht auf der Detektion der von einer Laserstrahl-beheizten Oberfläche vermehrt ausgestrahlten Infrarot-Strahlungsleistung. Zur Auswertung der Meßdaten werden Simulationen des thermischen Diffussionsprozesses und der damit zusammenhängenden Wärmeausdehnung der Oberfläche herangezogen.

Last updated on 2017-11-07 at 14:13