Project without external funding

Durchstimmbares optisches Sensorarray (TOSA)


Project Details
Project duration: 04/200803/2011


Abstract
Das Ziel des vorgeschlagenen Verbundprojektes ist die Erforschung durchstimmbarer optischer Sensorarrays mit hoher spektraler Auflösung und weitem Durchstimmungsbereichs, sowie die Erforschung und Optimierung der dafür notwendigen Technologien. Das Einsatzgebiet des Sensorarrays liegt zum einen im sichtbaren Spektralbereich (400-700nm) bei Anwendungen wie z.B. hochpräzise Farbdetektion und Farbkontrolle, zum anderen im Bereich 360-1107nm für z.B. hochpräzise Substrat-Temperaturmessung bei Dünnschicht-Depositions-Prozessen.


Research Areas


Last updated on 2017-11-07 at 14:14