Projekt ohne Drittmittelfinanzierung

Durchstimmbares optisches Sensorarray (TOSA)


Details zum Projekt
Projektlaufzeit: 04/200803/2011


Zusammenfassung
Das Ziel des vorgeschlagenen Verbundprojektes ist die Erforschung durchstimmbarer optischer Sensorarrays mit hoher spektraler Auflösung und weitem Durchstimmungsbereichs, sowie die Erforschung und Optimierung der dafür notwendigen Technologien. Das Einsatzgebiet des Sensorarrays liegt zum einen im sichtbaren Spektralbereich (400-700nm) bei Anwendungen wie z.B. hochpräzise Farbdetektion und Farbkontrolle, zum anderen im Bereich 360-1107nm für z.B. hochpräzise Substrat-Temperaturmessung bei Dünnschicht-Depositions-Prozessen.


Forschungsfelder


Zuletzt aktualisiert 2017-11-07 um 14:14