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Nanooptische Strukturen auf weit durchstimmbaren MEMS Fabry-Perot Filtern (in SPP Aktive Mikrooptik)


Project Details
Project duration: 09/200809/2011


Abstract
Mikromechanisch durchstimmbare, auf InP basierende Fabry-Perot Filter sind im
Wellenlängenbereich ab 1μm einsetzbar und können somit im Bereich der Nahinfrarotsensorik,
insbesondere für spektroskopische Anwendungen, die Leistungsfähigkeit optischer
Detektionsysteme erweitern. Werden die Filterflächen mit nanooptischen Strukturen, wie
Photonischen Kristallen oder Subwellenlängen Gittern versehen, können die optischen
Eigenschaften der Filter maßgeschneidert werden. Die Kontrolle von Polarisationseigenschaften,
durch Ausnutzung der photonischen Bandstrukturen und Symmetriebetrachtungen, ist hierbei der
interessanteste Parameter, mit denen die Bauelemente für neue Anwendungen (z.B.
polarisationsselektive Spektroskopie) angepasst werden können. Die Kavitätswellenlänge der
Filter wird elektrostatisch durchgestimmt. Da die Eigenschaften nanooptischer Strukturen, wie etwa
die strukturbedingte Doppelbrechung, von der Wellenlänge abhängen, ist es möglich diese
ebenfalls im gewünschten Maße innerhalb des Durchstimmbereichs zu verändern. Durch
Modellrechnungen werden die Eigenschaften der Strukturen einzeln und als Bestandteil der Filter
bestimmt. Die Nanostrukturen liegen im Bereich von 100 nm und werden mit einer Focused Ion
Beam Anlage (FIB) direkt oder mit Hilfe von Elektronenstrahllithographie und anschließendem
Trockenätzschritt hergestellt. Für eine spätere, kostengünstige Herstellung können parallel
arbeitende Verfahren wie die Nanoimprint-Lithographie verwendet werden.

Last updated on 2017-11-07 at 14:16