Project without external funding

Magnetostriction in thin films for integrated technologies


Project Details
Project duration: 01/199412/1996


Abstract
Die in jüngster Zeit entwickelten magnetostriktiven Dünnfilme auf RE-Fe-Basis zeichnen sich u.a. durch eine hohe Anfangsmagnetostriktion schon bei geringen Magnetfeldern (10 bis 50 mT) aus und sind daher für einen Einsatz in schnellen, miniaturisierenten Aktuatoren prädestiniert. Im Rahmen des vorliegenden Projekts wird von der Arbeitsgruppe für Technische Physik die Integration solcher Dünnfilme in die etablierten Technologien der Mikrosystemtechnik durchgeführt und am Beispiel verschiedener mikromechanischer Aktoren auf der Basis von Silizium demonstriert. Es werden u.a. magnetostriktive Pumpen, diverse miniaturisierte Motoren sowie Stellelemente ohne thermische Drift produziert.

Last updated on 2017-11-07 at 13:40