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In situ-Rastertunnelmikroskopie an Diamantschichten


Project Details
Project duration: 01/199807/1999


Abstract
Das in der Technischen Physik entwickelte in situ-Rastertunnelmikroskop soll zur Untersuchung des Ätz- und Wachstumsverhaltens von Diamantschichten eingesetzt werden. Zur Untersuchung des Ätzverhaltens wird eine vorgewachsene Diamantschicht verwendet. Diese wurde mit einem hohen sp2-Gehalt absgeschieden, so dass eine höhere Ätzrate als bei einer qualitativ hochwertigen Diamantschicht zu erwarten ist. Die Untersuchungen zum Wachstum von Diamantschichten sollen dagegen auf bordotierten Diamanteinkristallen durchgeführt werden, die eine geringere Rauhigkeit als vorgewachsene Diamantschichten aufweisen und dadurch eine bessere vertikale Auflösung des Wachstumsprozesses ermöglichen.

Last updated on 2017-11-07 at 13:30