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Sensoren für die Raster-Sondenmikroskopie


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Abstract
Die Herstellung von Mikrospitzen für die Raster-Sondenmikroskopie zur Oberflächen- und Schichtcharakterisierung erfordert die Entwicklung von Lithographie- und Ätzprozessen. Es werden Si-Spitzen für die Kraftmikroskopie mit integriertem piezoresistivem Detektorsystem entwickelt. Dabei werden Cantileverdurchbiegungen im 0.1 Å-Bereich detektiert.

Last updated on 2017-11-07 at 14:26