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Weit durchstimmbare optische Filter


Project Details
Project duration: 06/200005/2003


Abstract
Im Rahmen dieses Forschungsprojektes werden InP-basierende, mikromechanisch durchstimmbare optische Filter modelliert, entwickelt, technologisch hergestellt und meßtechnisch charakterisiert. Die Herstellung der mikormechanischen Strukturen basiert auf dem selektiven Ätzen von Opferschichten ('surface micromachining').

Last updated on 2017-11-07 at 14:29