Projekt ohne Drittmittelfinanzierung

Weit durchstimmbare optische Filter


Details zum Projekt
Projektlaufzeit: 06/200005/2003


Zusammenfassung
Im Rahmen dieses Forschungsprojektes werden InP-basierende, mikromechanisch durchstimmbare optische Filter modelliert, entwickelt, technologisch hergestellt und meßtechnisch charakterisiert. Die Herstellung der mikormechanischen Strukturen basiert auf dem selektiven Ätzen von Opferschichten ('surface micromachining').

Zuletzt aktualisiert 2017-11-07 um 14:29