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Simulation von Plasmaätzprozessen


Project Details


Abstract
Die Probleme der Simulation von Trockenätzprozessen kann in vier verschiedene Gruppen eingeteilt werden:
1) Ätzreaktor (Gasflußraten, RF-Leistung, Reaktorgeometrie, Reaktormaterial)
2) Plasma (Ionisation, Gasphasenreaktionen, Energieverteilung)
3) Dunkelraum (Potentialverteilung, Streuprozesse, Teilchentransport)
4) Oberfläche (Sputtering, Desorption, Adsorption, Deposition, Oberflächenreaktionen).
Der Schwerpunkt dieses Vorhabens liegt auf der Analyse dieser Phänomene. Die gewonnenen Informationen fließen in das Simulationsprogramm SPEED ein.


Co-Investigators

Last updated on 2017-11-07 at 14:30