Project without external funding

Plasmadiagnostik zur Charakterisierung von Remote-Plasmen


Project Details


Abstract
Das Remote-Plasma-Verfahren bietet die Vorteile einer besonders kontrollierten Prozeßführung sowie einer Minimierung von Plasmaschäden bei der Deposition dünner Schichten. In zurückliegenden Projekten wurde die Eignung des Verfahrens zur Abscheidung einer Vielzahl von Schichten und Schichtsystemen demonstriert. Die elementaren Prozeßmechanismen sind aber noch weitgehend unbekannt. Es wurde daher ein Remote-Reaktor konzipiert und aufgebaut, der den Einsatz verschiedener in situ Charakterisierungsverfahren ermöglicht: Optische Emissionsspektroskopie (OES), Massenspektrometrie (MS), Langmuirsonde (LS) und Retarding Field Energy Analyzer (RFEA). Gleichzeitig wurden Aufbauten für diese Methoden realisiert. Mit ihrer Hilfe werden nun die chemischen und physikalischen Mechanismen in Remote-Plasmen eingehend untersucht.

Last updated on 2017-11-07 at 14:46