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Entwicklung eines mobilen Mikro-Analysesystems für den Einsatz in der Umweltanalytik


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Abstract
Durch die Kombination der für die Halbleiterelektronik entwickelten Verfahren mit neuartigen Aufbau- und Verbindungstechnologien soll ein miniaturisiertes, mobiles Gasanalysesystem hergestellt werden. Die wesentlichen Aufgaben dieses Systems, Gasinjektion, Trennung der einzelnen Komponenten und anschließende Detektion werden durch integrierte Subsysteme auf Siliziumbasis realisiert. Der Einsatz von CVD-Verfahren eröffnet die Möglichkeit zur Deposition neuartiger stationärer Phasen. In Kooperation mit der Universität Düsseldorf werden empfindliche Nachweisverfahren erprobt.

Last updated on 2017-11-07 at 14:46