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Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie


Project Details
Project duration: 08/199510/2002


Abstract
Ein neuartiger Ansatz (ellipsometrische Topographie) für die konsistente Vermessung von Feinststrukturen auf Oberflächen soll untersucht werden. Aufbauend auf bekannten ellipsometrischen Meßverfahren sollen neue wissenschaftliche Methoden (Mikrofokus-Ellipsometrie, Teilstrahlauswertung, Differential-Topometrie, Referenzschicht-Methode) zur Materialanalyse, zur topographischen Beschreibung von Oberflächen und zur Ortung von Mikro-Fehlstellen erarbeitet werden. Hierbei wird vertikal und auch lateral eine Subwellenlängenauflösung angestrebt. Rauhigkeiten sollen durch die erstmalige ellipsometrische Auswertung von Specklefeldern bzw. mit theoretischen Ansätzen zur Mikrorauhigkeit quantifiziert werden.


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Last updated on 2017-11-07 at 13:44