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Bildhafte Spektral-Ellipsometrie zur simultanen Erkennung von material- und formbedingten Oberflächenstrukturen


Project Details
Project duration: 07/199912/2006


Abstract
Es soll theoretisch/experimentell untersucht werden, ob eine schnelle, bildhafte Vermessung von technischen Oberflächen mit neuen ellipsometrisch-spektroskopischen Verfahren durchführbar ist. Durch abbildende Differentialtopometrie und brechzahlgestützte Materialidentifikation soll simultan sowohl die Topographie (Form, Welligkeit) als auch die Materialverteilung an der Oberfläche mit hoher lateraler Auflösung ermittelt werden. Für die angestrebte bildhafte Erfassung ist die schnelle und simultane Messung von vier ellipsometrischen Kenngrößenverläufen bei mehreren Lichtwellenlängen mit Hilfe eines hochauflösenden topometrischen Ellipsometers sowie eine leistungsfähige Signalauswertung zu realisieren. Der Einfluß der Rauheit auf die Meßgenauigkeit und Detektionssicherheit ist zu untersuchen.

Last updated on 2017-11-07 at 14:50

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