Project without external funding

Oszilierender mikrooptischer Fasersensor für die Präszisionsmesstechnik


Project Details
Project duration: 03/201002/2013


Abstract
Das Forschungsvorhaben verfolgt ein neues Konzept zur optischen Geometrieerfassung an Präzisionsbauteilen. Es basiert auf einer fasergekoppelten Mikrosonde, die auf einem Biegebalken angebracht ist. Ein Piezoaktor, an den eine elektrische Spannung angelegt wird, lenkt den Balken aus und bewirkt dadurch eine Änderung der optischen Weglänge im Messstrahlengang eines Interferometers. Das faseroptisch zugeführte Licht einer Laserdiode wird dabei mittels der mikrooptischen Sonde auf die Oberfläche des zu messenden Objektes fokussiert. Dort wird ein Teil des Lichtes reflektiert, gelangt zurück in die Sonde und interferiert mit dem Referenzstrahl, der durch Teilreflexion an einer Referenzfläche innerhalb der Sonde erzeugt wird. Der Referenzstrahl durchläuft stets dieselbe optische Weglänge. Bei Beaufschlagung des Piezoaktors mit einem Wechselsignal entsteht ein zeitlich moduliertes Interferenzsignal, welches mittels einer fasergekoppelten Fotodiode erfasst, digitalisiert und hinsichtlich der auf das Anregungssignal bezogenen Phasenlage analysiert wird. Abstandsänderungen zwischen Sonde und Messobjekt werden mit interferometrischer Genauigkeit als Phasenverschiebung zwischen Mess- und Referenzstrahl gemessen.


Principal Investigator

Last updated on 2017-11-07 at 13:46