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Untersuchung von Transportprozessen bei der Abscheidung von Diamantschichten


Project Details
Project duration: 07/199306/1995


Abstract
Ausgehend von unseren Resultaten zur Beschreibung der Gasphasenprozesse wird in einem weiteren Schritt zur Klärung der elementaren Mechanismen der Diamantabscheidung der Transport aktivierter Spezies aus dem Gasraum zum Substrat untersucht. Dabei werden sowohl Verfahren zur in situ Charakterisierung (u.a. Massenspektrometrie) als auch Simulationsprogramme (CHEMKIN) eingesetzt. Am Beispiel der Hot Filament-Abscheidung von Diamant sollen die Resultate von Diagnostik, Simulation sowie von Abscheideexperimenten miteinander verglichen und korreliert werden.

Last updated on 2017-11-07 at 14:56