Project without external funding

Ellipsometrische Ermittlung des polarisationsabhängigen Übertragungsverhaltens optischer Systeme


Project Details
Project duration: 07/199912/2005


Abstract
Gegenstand des Forschungsvorhabens ist die theoretische und experimentelle Untersuchung neuer Verfahren zur ellipsometrischen Meßtechnik. Bisherige Meßverfahren erfassen nur wenige ellipsometrische Kenngrößen und erlauben damit nur die Untersuchung einzelner optischer Komponenten. In diesem Forschungsprojekt soll der Meßumfang von Ellipsometern so erweitert werden, daß erstmals das vollständige polarisationsabhängige Transmissions- bzw. Reflexions-Übertragungsverhalten kompletter optischer Systeme, bestehend aus mehreren anisotropen Komponenten, erfaßt werden kann. Dieses System-Übertragungsverhalten hängt außer von den Komponenteneigenschaften wesentlich von der Systemstruktur ab. Wir erwarten, daß wir aus den gemessenen Systemeigenschaften unter Berücksichtigung von a priori-Informationen über die Systemstruktur Rückschlüsse auf die Komponenteneigenschaften ziehen können. Dies würde erstmals eine gezielte Fehlersuche in optischen Systemen ermöglichen. Weiterhin soll die Prognose des Systemverhaltens möglich sein, wie es sich nach dem Austausch bzw. der Modifikation von Systemkomponenten ergeben würde. Schließlich ist zu untersuchen, inwieweit aus den Systemeigenschaften eine Identifikation der Systemstruktur möglich ist. Die ellipsometrische Vermessung optischer Systeme könnte daher ein wichtiges Meßwerkzeug - z. B. in der Qualitätskontrolle und der optischen Nachrichtentechnik - werden.

Last updated on 2017-11-07 at 15:00