Projekt ohne Drittmittelfinanzierung

Entwicklung neuartiger Trockenätzverfahren für III/V-Halbleiter


Details zum Projekt
Projektlaufzeit: 01/200012/2004


Zusammenfassung
Moderne optische bzw. mikromechanische Bauelemente stellen oft extrem hohe Anforderungen an die Strukturierungsverfahren. Ziel des Projektes ist die Entwicklung von plasmaunterstützten Verfahren mit neuartigen Prozessgasen.

Zuletzt aktualisiert 2017-11-07 um 15:00