Aufsatz in einer Fachzeitschrift
High resolution 3D NanoImprint technology: Template fabrication, application in Fabry--Pérot-filter-array-based optical nanospectrometers



Details zur Publikation
Autor(inn)en:
Wang, X.; Albrecht, A.; Mai, H.; Woidt, C.; Meinl, T.; Hornung, M.; Bartels, M.; Hillmer, H.
Publikationsjahr:
2013
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering
Seitenbereich:
44-51
Jahrgang/Band:
2013
Heftnummer:
110
ISSN:
0167-9317



Schlagwörter
3D NanoImprint lithography, High resolution template, Optical 5MEMS6, Spectrometry


Autor(inn)en / Herausgeber(innen)

Zuletzt aktualisiert 2019-25-07 um 15:03