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Compound Semiconductors



Details zur Publikation
Autor(inn)en:
Dharmarasu, N.; Hillmer, H.
Herausgeber:
Gianchandani YB, Tabata O, Zappe HP
Verlag:
Elsevier
Verlagsort / Veröffentlichungsort:
Amsterdam and Oxford
Publikationsjahr:
2008
Seitenbereich:
25-51
Buchtitel:
Comprehensive microsystems
ISBN:
978-0-444-52190-3



Schlagwörter
cantilevers suspension, Compound semiconductors, filters, Micromachined sensors, Micromachining, Microsystems, Optical 5MEMS6, photodiodes, Self-assembled 3D micro/nanostructures, VCSELs, Wavelength-tunable devices


Autor(inn)en / Herausgeber(innen)

Zuletzt aktualisiert 2019-25-07 um 14:11