Beitrag in einem Sammelband
Simultane optische Messung von Oberflächenform und Materialverteilung mit topometrischer Ellipsometrie



Details zur Publikation
Autor(inn)en:
Neuschaefer-Rube, U.; Holzapfel, W.; Doberitzsch, J.
Herausgeber:
Rektor der Technischen Hochschule Ilmenau, Thüringen
Verlag:
Technische Hochschule Ilmenau
Verlagsort / Veröffentlichungsort:
Ilmenau
Publikationsjahr:
1999
Seitenbereich:
20-23
Buchtitel:
44th International Scientific Colloquium, Sept. 20-23, Band 1
Titel der Buchreihe:
Internationales wissenschaftliches Kolloquium, ISSN 0943-7207


Zuletzt aktualisiert 2019-25-07 um 14:49