Contribution in edited book
Simultane optische Messung von Oberflächenform und Materialverteilung mit topometrischer Ellipsometrie



Publication Details
Authors:
Neuschaefer-Rube, U.; Holzapfel, W.; Doberitzsch, J.
Editor:
Rektor der Technischen Hochschule Ilmenau, Thüringen
Publisher:
Technische Hochschule Ilmenau
Place:
Ilmenau
Publication year:
1999
Pages range:
20-23
Book title:
44th International Scientific Colloquium, Sept. 20-23, Band 1
Title of series:
Internationales wissenschaftliches Kolloquium, ISSN 0943-7207


Last updated on 2019-25-07 at 14:49