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In-Situ-Analyse von Plasma-Ätzprozessen
Project Details
Abstract
Zur Entwicklung und Optimierung sowie zur Simulation von Plasma-, Ätz-und Depositionsprozessen ist ein physikalisches Verständnis der Elementarprozesse notwendig. Es wurde eine Meßapparatur aufgebaut, in der mittels eines energieauflösenden Massenspektrometers die Plasma-Substrat-Wechselwirkung untersucht wird. Die gewonnenen Ergebnisse werden in dem Simulationsprogramm "Speed" eingesetzt.
