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Entwicklung von Plasma Abscheideverfahren für optische MEMS
Project Details
Project duration: 06/2000–05/2003
Abstract
In diesem Projekt werden optische Braggspiegel und Filter mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasendeposition (PECVD) hergestellt. Dabei wird die Tauglichkeit des Verfahren für die Herstellung von 'low cost' optischen Mikrostrukturen getestet.
