ohne Drittmittelfinanzierung
Sensoren für die Raster-Sondenmikroskopie
Details zum Projekt
Zusammenfassung
Die Herstellung von Mikrospitzen für die Raster-Sondenmikroskopie zur Oberflächen- und Schichtcharakterisierung erfordert die Entwicklung von Lithographie- und Ätzprozessen. Es werden Si-Spitzen für die Kraftmikroskopie mit integriertem piezoresistivem Detektorsystem entwickelt. Dabei werden Cantileverdurchbiegungen im 0.1 Å-Bereich detektiert.
