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Simulation von Plasmaätzprozessen
Project Details
Abstract
Die Probleme der Simulation von Trockenätzprozessen kann in vier verschiedene Gruppen eingeteilt werden:
1) Ätzreaktor (Gasflußraten, RF-Leistung, Reaktorgeometrie, Reaktormaterial)
2) Plasma (Ionisation, Gasphasenreaktionen, Energieverteilung)
3) Dunkelraum (Potentialverteilung, Streuprozesse, Teilchentransport)
4) Oberfläche (Sputtering, Desorption, Adsorption, Deposition, Oberflächenreaktionen).
Der Schwerpunkt dieses Vorhabens liegt auf der Analyse dieser Phänomene. Die gewonnenen Informationen fließen in das Simulationsprogramm SPEED ein.
