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Mikrospulen - Modellierung und Integration von Mikrospulen als Meßwertaufnehmer der Mikrosystemtechnik.
Project Details
Project duration: 01/1997–12/1998
Abstract
Das Vorhaben behandelt die Entwicklung eines hochauflösenden Magnetfeld-Sensors basierend auf dem Prinzip des Wirbelstroms zur Bestimmung von Struktur aus bzw. in elektrisch und magnetisch leitfähigen Materialien im Mikrometer-Bereich. Hierbei soll insbesondere dem Aspekt einer mikrosystemtechnischen Realisierung Rechnung getragen werden.
Publications
1999 | |
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1997 |