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Mikrospulen - Modellierung und Integration von Mikrospulen als Meßwertaufnehmer der Mikrosystemtechnik.



Project Details

Project duration: 01/199712/1998



Abstract
Das Vorhaben behandelt die Entwicklung eines hochauflösenden Magnetfeld-Sensors basierend auf dem Prinzip des Wirbelstroms zur Bestimmung von Struktur aus bzw. in elektrisch und magnetisch leitfähigen Materialien im Mikrometer-Bereich. Hierbei soll insbesondere dem Aspekt einer mikrosystemtechnischen Realisierung Rechnung getragen werden.


Publications


Last updated on 2022-20-04 at 14:04