Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie - Forschungsinformationssystem | Universität Kassel

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Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie

Details zum Projekt

Projektlaufzeit: 08/1995–10/2002

Zusammenfassung

Ein neuartiger Ansatz (ellipsometrische Topographie) für die konsistente Vermessung von Feinststrukturen auf Oberflächen soll untersucht werden. Aufbauend auf bekannten ellipsometrischen Meßverfahren sollen neue wissenschaftliche Methoden (Mikrofokus-Ellipsometrie, Teilstrahlauswertung, Differential-Topometrie, Referenzschicht-Methode) zur Materialanalyse, zur topographischen Beschreibung von Oberflächen und zur Ortung von Mikro-Fehlstellen erarbeitet werden. Hierbei wird vertikal und auch lateral eine Subwellenlängenauflösung angestrebt. Rauhigkeiten sollen durch die erstmalige ellipsometrische Auswertung von Specklefeldern bzw. mit theoretischen Ansätzen zur Mikrorauhigkeit quantifiziert werden.

Publikationen

1999	Neuschaefer-Rube, U., Holzapfel, W., Doberitzsch, J.H., 1999. Measurement of Surface Topography and Material by Micro-Ellipsometry, in: International Measurement Confederation (IMEKO) (Hrsg.), Proceedings of the XV IMEKO World Congress, June 13-18, Vol. XI. IMEKO, Osaka, Japan, S. 63–69.
1999	Holzapfel, W., Neuschaefer-Rube, U., Doberitzsch, J.H., Wirth, F., 1999. Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie 66, 455–462.
1999	Neuschaefer-Rube, U., Holzapfel, W., Doberitzsch, J.H., 1999. Simultane optische Messung von Oberflächenform und Materialverteilung mit topometrischer Ellipsometrie, in: Rektor der Technischen Hochschule Ilmenau, T. (Hrsg.), 44th International Scientific Colloquium, Sept. 20-23, Band 1. Technische Hochschule Ilmenau, Ilmenau, S. 20–23.