Aufsatz in einer Fachzeitschrift
High resolution 3D NanoImprint technology: Template fabrication, application in Fabry--Pérot-filter-array-based optical nanospectrometers
Details zur Publikation
Autor(inn)en: | Wang, X.; Albrecht, A.; Mai, H.; Woidt, C.; Meinl, T.; Hornung, M.; Bartels, M.; Hillmer, H. |
Publikationsjahr: | 2013 |
Zeitschrift: | Microelectronic Engineering |
Seitenbereich: | 44-51 |
Jahrgang/Band : | 2013 |
Heftnummer: | 110 |
ISSN: | 0167-9317 |
DOI-Link der Erstveröffentlichung: |
Schlagwörter
3D NanoImprint lithography, High resolution template, Optical 5MEMS6, Spectrometry
