Contribution in edited book
Simultane optische Messung von Oberflächenform und Materialverteilung mit topometrischer Ellipsometrie
Publication Details
Authors: | Neuschaefer-Rube, U.; Holzapfel, W.; Doberitzsch, J. |
Editor: | Rektor der Technischen Hochschule Ilmenau, Thüringen |
Publisher: | Technische Hochschule Ilmenau |
Place: | Ilmenau |
Publication year: | 1999 |
Pages range : | 20-23 |
Book title: | 44th International Scientific Colloquium, Sept. 20-23, Band 1 |
Title of series: | Internationales wissenschaftliches Kolloquium, ISSN 0943-7207 |
