Aufsatz in einer Fachzeitschrift
Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie
Details zur Publikation
Autor(inn)en: | Holzapfel, W.; Neuschaefer-Rube, U.; Doberitzsch, J.; Wirth, F. |
Publikationsjahr: | 1999 |
Seitenbereich: | 455-462 |
Jahrgang/Band : | 66 |
