ohne Drittmittelfinanzierung
Weit durchstimmbare optische Filter
Details zum Projekt
Projektlaufzeit: 06/2000–05/2003
Zusammenfassung
Im Rahmen dieses Forschungsprojektes werden InP-basierende, mikromechanisch durchstimmbare optische Filter modelliert, entwickelt, technologisch hergestellt und meßtechnisch charakterisiert. Die Herstellung der mikormechanischen Strukturen basiert auf dem selektiven Ätzen von Opferschichten ('surface micromachining').
