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Weit durchstimmbare optische Filter
Project Details
Project duration: 06/2000–05/2003
Abstract
Im Rahmen dieses Forschungsprojektes werden InP-basierende, mikromechanisch durchstimmbare optische Filter modelliert, entwickelt, technologisch hergestellt und meßtechnisch charakterisiert. Die Herstellung der mikormechanischen Strukturen basiert auf dem selektiven Ätzen von Opferschichten ('surface micromachining').
