Aufsatz in einer Fachzeitschrift
Outlier Elimination in Rough Surface Profilometry with Focus Variation Microscopy
Details zur Publikation
Autor(inn)en: | Xu, X.; Hagemeier, S.; Lehmann, P. |
Publikationsjahr: | 2022 |
Zeitschrift: | Metrology |
Seitenbereich: | 263-273 |
Jahrgang/Band : | 2 |
Heftnummer: | 2 |
DOI-Link der Erstveröffentlichung: |
