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Measurement of Surface Topography and Material by Micro-Ellipsometry
Details zur Publikation
Autor(inn)en: | Neuschaefer-Rube, U.; Holzapfel, W.; Doberitzsch, J. |
Herausgeber: | International Measurement Confederation (IMEKO) |
Verlag: | IMEKO |
Verlagsort / Veröffentlichungsort: | Osaka, Japan |
Publikationsjahr: | 1999 |
Seitenbereich: | 63-69 |
Buchtitel: | Proceedings of the XV IMEKO World Congress, June 13-18, Vol. XI |
ISBN: | 4-907764-08-1 |
