Aufsatz in einer Fachzeitschrift
Planar free-standing metal layer fabrication: implementing sub-structures in micromirror arrays for light steering applications
Details zur Publikation
Autor(inn)en: | Worapattrakul, N.; Tatzel, A.; Viereck, V.; Hillmer, H. |
Publikationsjahr: | 2020 |
Zeitschrift: | Micro and Nano Systems Letters |
Seitenbereich: | 1-6 |
Jahrgang/Band : | 20 |
Heftnummer: | 8 |
ISSN: | 2213-9621 |
eISSN: | 2213-9621 |
DOI-Link der Erstveröffentlichung: |
